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潔凈室的潔凈度檢測(cè)方法

潔凈室的檢測(cè)根據(jù)被檢測(cè)面積規(guī)定的采樣點(diǎn)數(shù)參考下表1

l 檢測(cè)位置定義為距離地面800mm~1200mm高度；

l 參考標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644（美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E）或按設(shè)計(jì)要求。潔凈等級(jí)具體可分1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí)；

l 微粒允許值：

l 計(jì)量容積單位：ft3

檢測(cè)儀器：CEMDF-9881粒子計(jì)數(shù)器。

潔凈度檢測(cè)也可以通過有規(guī)律掃描檢測(cè)的方式來獲取數(shù)據(jù)，如遇到數(shù)據(jù)波動(dòng)異常的點(diǎn)，再通過定點(diǎn)詳細(xì)檢測(cè)的方法來獲取數(shù)據(jù)。

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